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実験用熱蒸着装置
<内容>
装置名
装置責任者
装置の概要
装置名:
実験用熱蒸着装置
製品名:
EA-504
メーカー:
昭和真空
装置管理責任者:
蓮池 紀幸
装置管理問合せ先:
蓮池 紀幸
<装置の概要>
本装置は、実験用の抵抗加熱型蒸着装置です。
真空系は、油拡散ポンプとロータリーポンプで構成されています。
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